Litografian automaattinen henkilölaskentajärjestelmä
Liukkonen, Sakari (2018)
Liukkonen, Sakari
Metropolia Ammattikorkeakoulu
2018
All rights reserved
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-201801241608
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-201801241608
Tiivistelmä
Tässä insinöörityössä toteutettiin Murata Electronics Oy:n anturielementtivalmistuksen litografia-tuotantosoluun automaattinen henkilölaskentajärjestelmä. Litografia-solussa halutaan seurata ja rajoittaa tilan henkilömäärää partikkelikontaminaatioriskin pienentämiseksi. Alkutilanteessa henkilömäärää seurattiin puhdastilahaalareihin kiinnitettävillä korteilla, mikä oli todettu toimimattomaksi.
Anturielementtivalmistus tapahtuu puhdastiloissa, joiden olosuhteiden tulee olla tarkkaan hallittuja. Ihmiset ovat usein suurin partikkelikontaminaatioiden aiheuttaja puhdastiloissa ja saattavat aiheuttaa niistä jopa 80–95 %.
Insinöörityön teoriaosuudessa käsitellään lyhyesti MEMS-antureiden valmistuksen perusteita, litografian prosesseja sekä puhdastilan toimintaa. Työn käytännön osuudessa valittiin henkilölaskentajärjestelmän toteutustapa, sekä käytiin läpi laitteen asennus ja käyttöönotto. Lopuksi laitteen toiminta testattiin ja tulosten perusteella määritettiin henkilömäärälle sopiva tarkastusväli.
Henkilölaskentajärjestelmä toteutettiin lähi-infrapunan heijastumista mittaavalla henkilölaskurilla. Laite asennettiin tuotantotilan ulkopuolelle kattoon ja näyttö oven viereen. Henkilömäärän esittämistä varten ohjelmoitiin erillinen ohjelma, joka ilmaisee tilan sen hetkisen henkilömäärän ja muuttaa taustan väriä henkilömäärän perusteella. Laitteen toiminta testattiin tarkastamalla, vastaako sen ilmoittama määrä tilan todellista henkilömäärää.
Projektin lopputuloksena saatiin toimiva automaattinen henkilölaskentajärjestelmä. Laitteen laskentatarkkuuden arvioksi saatiin ≈99,7 %. Tuloksista ilmeni, että laitteen ilmoittaman henkilömäärän pysyminen tarkkana edellyttää sen säännöllistä tarkastamista ja korjaamista tarvittaessa. Tulosten perusteella määritettiin, että sopiva tarkastusväli laitteelle on kerran työvuoron aikana.
Anturielementtivalmistus tapahtuu puhdastiloissa, joiden olosuhteiden tulee olla tarkkaan hallittuja. Ihmiset ovat usein suurin partikkelikontaminaatioiden aiheuttaja puhdastiloissa ja saattavat aiheuttaa niistä jopa 80–95 %.
Insinöörityön teoriaosuudessa käsitellään lyhyesti MEMS-antureiden valmistuksen perusteita, litografian prosesseja sekä puhdastilan toimintaa. Työn käytännön osuudessa valittiin henkilölaskentajärjestelmän toteutustapa, sekä käytiin läpi laitteen asennus ja käyttöönotto. Lopuksi laitteen toiminta testattiin ja tulosten perusteella määritettiin henkilömäärälle sopiva tarkastusväli.
Henkilölaskentajärjestelmä toteutettiin lähi-infrapunan heijastumista mittaavalla henkilölaskurilla. Laite asennettiin tuotantotilan ulkopuolelle kattoon ja näyttö oven viereen. Henkilömäärän esittämistä varten ohjelmoitiin erillinen ohjelma, joka ilmaisee tilan sen hetkisen henkilömäärän ja muuttaa taustan väriä henkilömäärän perusteella. Laitteen toiminta testattiin tarkastamalla, vastaako sen ilmoittama määrä tilan todellista henkilömäärää.
Projektin lopputuloksena saatiin toimiva automaattinen henkilölaskentajärjestelmä. Laitteen laskentatarkkuuden arvioksi saatiin ≈99,7 %. Tuloksista ilmeni, että laitteen ilmoittaman henkilömäärän pysyminen tarkkana edellyttää sen säännöllistä tarkastamista ja korjaamista tarvittaessa. Tulosten perusteella määritettiin, että sopiva tarkastusväli laitteelle on kerran työvuoron aikana.