Theseus - Selaus tekijän mukaan "Nyman, Erika"
-
DRIE-syväetsauslaitteiston partikkelikokotutkimus
Nyman, Erika (2020)Tämä insinöörityö toteutettiin Murata Electronics Oy:n (MFI) toimeksiantona. MFI valmistaa piikiekoista antureita 3D MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) -tekniikalla. Työn tavoitteena oli selvittää DRIE (Deep Reactive ...
