Theseus - Selaus asiasanan mukaan "atomikerroskasvatus"
Viitteet 1-6 / 6
-
ALD-pinnoituslaitteen rakenteen kehittäminen läpimenoajan lyhentämiseksi
(2020)Insinöörityö toteutettiin Picosun Oy:lle. Työn tarkoituksena oli tutkia ALD-pinnoituslaitteessa olevia rakenteellisia ongelmakohtia. Lisäksi tavoitteena oli selvittää, kuinka paljon suunnitteluosaston kehittämät mekaaniset ... -
Design of A Semiconductor Substrate Heating Station
(2019)The objective of this thesis was to investigate the operation of a wafer heating module. The module was a part of an atomic layer deposition (ALD) cluster tool and had the purpose of pre-heating semiconductor wafers to the ... -
Low-Temperature Batch Atomic Layer Deposition of ZnO on Organic Substrate Using Ozone as the Oxidant
(2020)The purpose of this bachelor’s thesis project was to study the efficacy of low-temperature atomic layer deposition (ALD) in a batch process for an organic substrate using ozone as the oxidant. ALD was used to coat the ... -
Mechanical assembly instructions for Picosun R-200 PEALD system
(2019)Opinnäytetyön tilaajana oli Picosun Oy. Picosun Oy valmistaa ALD-laitteita ja kehittää uusia ALD-ratkaisuja puolijohdeteollisuuteen. Työn tarkoitus oli luoda kokoonpano-ohje Picosun R-200 PEALD -laitteelle. Olimme Picosun ... -
Modulaarisen testipenkin suunnittelu atomikerroskasvatuskoneen automaation testausta ja tuotekehitystä varten
(2023)Insinöörityön tavoitteena oli perehtyä atomikerroskasvatuskoneen toiminnallisuuksiin sekä komponentteihin ja luoda alustava suunnitelma testipenkistä. Testipenkki suunniteltiin tämän atomikerroskasvatuskoneen automaation, ... -
Ohutkalvopinnoituskoneen kemikaalilähteen ohjaaminen
(2023)Opinnäytetyön aiheena on ohjelmistokehitysprojekti, ja työn tarkoituksena on lisätä tuki uudelle lämmitettävälle kemikaalilähteelle Picosunin valmistamaan PicoOS™-käyttöjärjestelmään, jota käytetään yrityksen valmistamissa ...





