Haku
Viitteet 1-1 / 1
Mechanical assembly instructions for Picosun R-200 PEALD system
(2019)
Opinnäytetyön tilaajana oli Picosun Oy. Picosun Oy valmistaa ALD-laitteita ja kehittää uusia ALD-ratkaisuja puolijohdeteollisuuteen. Työn tarkoitus oli luoda kokoonpano-ohje Picosun R-200 PEALD -laitteelle. Olimme Picosun ...