FE-SEM- ja EDS-laitteiden käyttöönotto

Abstract

Työn tavoitteena oli ottaa käyttöön testauslaboratoriossa FE-SEM-(kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppi) ja EDS(röntgenanalysaattori) -laitteistot. Ennen vaativien laitteiden asennusta suoritettiin olosuhdemittaukset, joiden perusteella valittiin asennuspaikka. Laboratorion lämpötila, kosteus, magneettikentät, tärinä, akustinen värähtely ja ilmavirta mitattiin ja tulokset dokumentoitiin.

Hyväksyttyyn asennuspaikkaan tehtiin tarvittavat muutokset ja liitännät. Laitteeseen tarvittiin vaatimusten mukaiset liitännät: sähkö, paineilma, typpikaasu ja internet. Lisäksi laitteen sähkökatkosten varalta asennettiin hälytysjärjestelmä.

Laitteen asennus, käyttöönotto ja koulutus saatiin suoritettua aikataulun mukaisesti. Työn tuotoksena saatiin FEI Quanta FEG450 -elektronimikroskoopin suomenkielinen käyttöohje, jonka avulla voi aloittaa kuvaukset.

Työssä käsitellään elektronimikroskoopin ja röntgenanalysaattorin teoriaa yleisesti ja laitteen näkökulmasta. Tätä dokumenttia voidaan käyttää myös opetusmateriaalina aiheeseen perehdyttäessä.

Elektronimikroskopia on erityinen tutkimusmenetelmä, josta ei suomenkielistä materiaalia ole paljon saatavissa. Työ sisältää käytännönläheisen tietopaketin FE-SEM:n ja EDS:n käytöstä.

Asiasanat: elektronimikroskopia, käyttöönotto, testaus, kuvantaminen.

The objective of this project was to introduce FE-SEM (Field Emission-Scanning Electron Microscope) and EDS (Energy Dispersive Spectrometry) equipment. Ambient conditions were measured before installing the advanced equipment. Site for the equipmet was selected according to results of the measurements. Laboratory temperature, humidity, electromagnetic fields, vibration, acoustic noise and air velocity were measured and results were documented.

Necessary changes and connections were made to approved installation location. Connections of the electrical, compressed air, nitrogen gas and network were needed for the equipment. In addition the alarm system against electrical outage was installed.

Equipment installation, introduce and training were performed in schedule. The output of the project was the finnish manual of FEI QuantaFEG450 electron microscope, whereby the imaging can be started.

This work deals with electron microscope and energy dispersive spectrometry in theory and machine standpoint. You can also use this document as an educational material.

Electron microscopy is a special research method of which there is not much Finnish information available. This document deals with hands-on information for use of FE-SEM and EDS.

Keywords: electron microscope, introduce, testing, imaging