Hyppää sisältöön
    • Suomeksi
    • På svenska
    • In English
  • Suomi
  • Svenska
  • English
  • Kirjaudu
Hakuohjeet
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Näytä viite 
  •   Ammattikorkeakoulut
  • Turun ammattikorkeakoulu
  • Opinnäytetyöt (Avoin kokoelma)
  • Näytä viite
  •   Ammattikorkeakoulut
  • Turun ammattikorkeakoulu
  • Opinnäytetyöt (Avoin kokoelma)
  • Näytä viite

Piilevyjen karakterisointi eri pesuprosessien jälkeen

Janatuinen, Riina (2012)

 
Avaa tiedosto
Oppari_6.9.2012.pdf (1.421Mt)
Lataukset: 


Janatuinen, Riina
Turun ammattikorkeakoulu
2012
All rights reserved
Näytä kaikki kuvailutiedot
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2012091413649
Tiivistelmä
Tämän insinöörityön aiheena oli piikiekkojen puhdistusprosessien tutkiminen. Tavoitteena oli selvittää eri pesuprosessien erot sekä niiden vaikutus piikiekon pintaan ja pinnan ominaisuuksiin.
Tutkittavat pesuprosessit työssä olivat märkäpesumenetelmät kuten RCA-pesu, Piranha-pesu, HF-dippaus (HFD) sekä kuivapesumenetelmät happi- ja vetyplasmalla. Työtä tehdessä tutkittiin myös tieteellisiä artikkeleja, kirjallisuutta sekä etsittiin tietoa internetistä.
Pesuprosessien vaikutusta piin pinnan ominaisuuksiin tutkittiin atomivoimamikroskoopilla, pinnan oksidikerroksen paksuuden muutosta ellipsometrillä sekä pinnan kemiallisten ominaisuuksien muutosta määritettiin kontaktikulmamittarilla käyttäen pisaramenetelmää.
Työn lopputuloksena todettiin, että RCA pesu on paras märkäpesumenetelmä eikä HFD-käsittely pesussa ole välttämätön, mutta suositellaan tehtäväksi toisinaan. Varsinkin jos Piranha-pestyjä levyjä halutaan käyttää useamman kerran, tulisi HFD vaihe suorittaa aika ajoin. Kuivapesun jälkeen suositeltavaa olisi pestä levyt vielä jollain märkäpesumenetelmällä ennen todellista käyttötarkoitusta.
 
Kokoelmat
  • Opinnäytetyöt (Avoin kokoelma)
Ammattikorkeakoulujen opinnäytetyöt ja julkaisut
Yhteydenotto | Tietoa käyttöoikeuksista | Tietosuojailmoitus | Saavutettavuusseloste
 

Selaa kokoelmaa

NimekkeetTekijätJulkaisuajatKoulutusalatAsiasanatUusimmatKokoelmat

Henkilökunnalle

Ammattikorkeakoulujen opinnäytetyöt ja julkaisut
Yhteydenotto | Tietoa käyttöoikeuksista | Tietosuojailmoitus | Saavutettavuusseloste