Haku
Viitteet 1-2 / 2
Design of A Semiconductor Substrate Heating Station
(2019)
The objective of this thesis was to investigate the operation of a wafer heating module. The module was a part of an atomic layer deposition (ALD) cluster tool and had the purpose of pre-heating semiconductor wafers to the ...
Modulaarisen testipenkin suunnittelu atomikerroskasvatuskoneen automaation testausta ja tuotekehitystä varten
(2023)
Insinöörityön tavoitteena oli perehtyä atomikerroskasvatuskoneen toiminnallisuuksiin sekä komponentteihin ja luoda alustava suunnitelma testipenkistä. Testipenkki suunniteltiin tämän atomikerroskasvatuskoneen automaation, ...