Mechanical assembly instructions for Picosun R-200 PEALD system
Varvemaa, Jere (2019)
2019
All rights reserved. This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2019121326478
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2019121326478
Tiivistelmä
Opinnäytetyön tilaajana oli Picosun Oy. Picosun Oy valmistaa ALD-laitteita ja kehittää uusia ALD-ratkaisuja puolijohdeteollisuuteen. Työn tarkoitus oli luoda kokoonpano-ohje Picosun R-200 PEALD -laitteelle. Olimme Picosun Oy:n kanssa sopineet että kokoonpano-ohjeet jäävät salaiseksi.
Työn aikana kokoonpantiin useita R-200 PEALD -laitteita, joiden perusteella pystyttiin luomaan hyvät kokoonpano-ohjeet. Ennen ohjeiden kirjoittamista asentajilta tiedusteltiin, minkälainen työohje heille olisi hyödyllisin. Ohje keskittyy työvaiheisiin ja niiden helppoon tulkitsemiseen kattavan kuvamateriaalin kautta. Työssä kartoitimme erilaisia hukkia lean työkaluja käyttämällä.
Ohje ei ehdi olla käytössä tuotannossa kovin pitkää, koska olemme päättäneet päivittää plasmalähdettä ja nostinta. Tämän mallin ALD-laitteita on jo maailmalla useita ja tämä kokoonpano-ohje tulee käyttöön huoltotoimenpiteissä. Tulevaisuudessa on ohjetta tarkoitus päivittää niin, että uusi plasmalähde ja nostin on siihen lisätty. This thesis was made for Picosun Oy. Picosun Oy manufactures high quality ALD tools and develops new solutions for the semiconductor industry. The objective of this bachelor’s thesis was to make assembly instructions for Picosun R-200 PEALD system. We agreed with Picosun Oy to keep the assembly instructions as confidential.
During this thesis many R-200 PEALD systems were assembled and they served as a basis for writing the assembly instructions. Before writing these instructions, we asked the assemblers for comments on what kind of instructions would benefit them the most. The instructions focus on work phases and how they are easy to understand though an extensive collection of pictures. The assembly was reviewed using lean manufacturing tools to locate any wastes.
Unfortunately, these instructions will only be used in production for a brief period because we have decided to upgrade the plasma source and the lifter. This will require major updating to the instructions, but we already have several tools of this model around the globe and they require maintenance instructions. These instructions will surely help our maintenance crews around the globe. In the future we plan to upgrade these instructions to include the new lifter and plasma source.
Työn aikana kokoonpantiin useita R-200 PEALD -laitteita, joiden perusteella pystyttiin luomaan hyvät kokoonpano-ohjeet. Ennen ohjeiden kirjoittamista asentajilta tiedusteltiin, minkälainen työohje heille olisi hyödyllisin. Ohje keskittyy työvaiheisiin ja niiden helppoon tulkitsemiseen kattavan kuvamateriaalin kautta. Työssä kartoitimme erilaisia hukkia lean työkaluja käyttämällä.
Ohje ei ehdi olla käytössä tuotannossa kovin pitkää, koska olemme päättäneet päivittää plasmalähdettä ja nostinta. Tämän mallin ALD-laitteita on jo maailmalla useita ja tämä kokoonpano-ohje tulee käyttöön huoltotoimenpiteissä. Tulevaisuudessa on ohjetta tarkoitus päivittää niin, että uusi plasmalähde ja nostin on siihen lisätty.
During this thesis many R-200 PEALD systems were assembled and they served as a basis for writing the assembly instructions. Before writing these instructions, we asked the assemblers for comments on what kind of instructions would benefit them the most. The instructions focus on work phases and how they are easy to understand though an extensive collection of pictures. The assembly was reviewed using lean manufacturing tools to locate any wastes.
Unfortunately, these instructions will only be used in production for a brief period because we have decided to upgrade the plasma source and the lifter. This will require major updating to the instructions, but we already have several tools of this model around the globe and they require maintenance instructions. These instructions will surely help our maintenance crews around the globe. In the future we plan to upgrade these instructions to include the new lifter and plasma source.