MEMS-teknologian opas
Coco, Nicodemo (2020)
Coco, Nicodemo
2020
All rights reserved. This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2020112824863
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2020112824863
Tiivistelmä
Tämän opinnäytetyön tarkoitus on saada lukijalle selkeä ymmärrys MEMS-teknologiasta. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) on mikropiirisystee-mi, joka voi olla esimerkiksi kiihtyvyysanturi tai gyroskooppianturi. Tässä opin-näytetyössä selvitetään, mitä MEMS-anturit ovat ja mitä niillä voi saavuttaa. Opinnäytetyössä käsitellään valmistusprosessi, käyttökohteet ja tulevaisuus. Opinnäytetyössä käydään läpi, miten MEMS-tuotantoprosessi alkaa yksinker-taisella piikiekolla ja loppuu valmiina mikropiirisysteeminä, kuten MEMS-gyroskooppina. Opinnäytetyössä esitellään, miten elektroniikkakomponentteja valmistetaan mikrometriskaalassa etsauskaiverrusprosessin avulla. Opinnäyte-työssä esitellään käyttökohteet, joissa käytetään eniten MEMS-antureita. Näitä ovat autoteollisuus, lääketiede ja teollisuus. Opinnäytetyö sisältää tietoa MEMS-teknologiasta useista artikkeleista ja tutkinnoista.
Opinnäyteyössä tutkitaan MEMS-teknologian hyvät ja huonot puolet ja uutta mahdollista teknologiaa MEMS-teollisuudessa. Opinnäytetyössä todetaan, että MEMS-anturit ovat kooltaan erittäin pieniä ja kevyitä. Ne ovat erittäin halpoja ja niillä on pieni lämpövakio. Tuotantotehtaiden perustamiskustannukset ovat korkeat MEMS-teollisuudessa. MEMS-anturin suunnittelu on haastavaa, koska se sisältää erittäin monimutkaisia toimenpiteitä mikromittakaavassa. MEMS-teknologian kehitys kasvaa jatkuvasti. Paperin käyttöä MEMS-antureiden mate-riaalina tutkitaan ja kehitetään.
Opinnäyteyössä tutkitaan MEMS-teknologian hyvät ja huonot puolet ja uutta mahdollista teknologiaa MEMS-teollisuudessa. Opinnäytetyössä todetaan, että MEMS-anturit ovat kooltaan erittäin pieniä ja kevyitä. Ne ovat erittäin halpoja ja niillä on pieni lämpövakio. Tuotantotehtaiden perustamiskustannukset ovat korkeat MEMS-teollisuudessa. MEMS-anturin suunnittelu on haastavaa, koska se sisältää erittäin monimutkaisia toimenpiteitä mikromittakaavassa. MEMS-teknologian kehitys kasvaa jatkuvasti. Paperin käyttöä MEMS-antureiden mate-riaalina tutkitaan ja kehitetään.