UV-ALD-laitteen ohjelmistosuunnittelu

Abstract

Tämän insinöörityön tavoitteena oli osana kehitysprojektia suunnitella ohjelma UV-ALD-laitteelle. Työssä myös suunniteltiin projektin automaatiojärjestelmä. Työ tehtiin suomalaiselle ALD-laitteiden toimittajalle Picosun Oy:lle.

Ohjelmointi toteutettiin TwinCAT 3 -ohjelmointiympäristössä ja logiikkana toimi Beckhoffin Embedded PC CX2020, eli sulautettu PC CX2020. Tarkoitus oli tutustua käytettyyn ohjelmointiympäristöön sekä logiikkaan, ja pohtia millaista lisäarvoa näillä voitaisiin saada verrattuna nykyiseen järjestelmään. Lisäksi tutustutiin EtherCAT-kenttäväylään ja EtherCAT-laitteiden ohjelmointiin. Ohjelmointikielenä tässä työssä käytettiin IEC61131-3-standardin mukaista kieltä ST:tä.

Työn tuloksena saatiin ohjelma tehtyä vaiheeseen, jossa UV-ALD-laitteen käyttöönotto voitiin aloittaa. Projektin myötä saatiin kokemusta TwinCAT 3:sta, sekä ST-ohjelmointikielestä. Jos pohditaan millaista lisäarvoa tulevaisuudessa projektissa käytetyllä järjestelmällä voisi yritykselle olla, erityisesti voidaan manita EtherCAT-väylään liitettyjen laitteiden helppo ja nopea ohjelmoitavuus sekä kommunikointi.

The aim of this graduate study was to design and develop software for UV-ALD-tool as a part of a R&D project. The study also included designing the automation system of the project. The study was carried out for Finnish ALD manufacturer Picosun Oy.

The programming was done with TwinCAT 3 software and the hardware used in this project was Beckhoff’s Embedded PC CX2020. The system also included EtherCAT, which is an Ethernet-based fieldbus.

The secondary goal of this study was to investigate the capability of the used system, and to estimate the possible added value for the company compared to the current system. The programming language used was ST, which is a programming language supported by the IEC 61131-3 standard.

As a result of the graduate study the software was at the point where the commissioning of the UV-ALD-tool could be started. As concerns the added value of the system used for the company, the easy connectivity and programming of EtherCAT devices decreases the time of commissioning new devices.