Optisen profilometrin mittauskyvykkyyden selvittäminen: MEMS-pohjaisten piikiekkojen mittaukset
Varpula, Eero (2019)
Varpula, Eero
2019
All rights reserved. This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2019060414750
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2019060414750
Tiivistelmä
Työ toteutettiin Murata Electronics Oy:n (MFI) toimeksiantona. Työn tavoitteena oli selvittää MFI:llä käytössä olevan optisen profilometrin mittauskyvykkyys ja vertailla tuloksia muihin käytössä oleviin mittalaitteisiin kuten optiseen reflektometriin, CD-mittariin (Critical Dimensions) ja pyyhkäisyelektonimikroskooppiin. Erityisen kiinnostuneita oltiin laitteen kyvykkyydestä mitata HAR-plasmaetsattuja (High Aspect Ratio) kapeita ja syviä piiuria.
Mitattavat urat muodostettiin piistä valmistetuille testikiekoille hyödyntäen MFI:n anturielementtivalmistuksen MEMS-prosesseja (Micro Electro Mechanical Systems). Testikiekkojen pohjana käytettiin erään jo olemassa olevan tuotteen rajattua valmistuskokonaisuutta. Varsinaiset mittaukset suoritettiin testikiekkojen valmistusvuon eri vaiheissa.
Työn tuloksia on tarkoitus hyödyntää plasmaetsauslaitteille suunnitellun HAR-monitorin kehityksessä.
Mitattavat urat muodostettiin piistä valmistetuille testikiekoille hyödyntäen MFI:n anturielementtivalmistuksen MEMS-prosesseja (Micro Electro Mechanical Systems). Testikiekkojen pohjana käytettiin erään jo olemassa olevan tuotteen rajattua valmistuskokonaisuutta. Varsinaiset mittaukset suoritettiin testikiekkojen valmistusvuon eri vaiheissa.
Työn tuloksia on tarkoitus hyödyntää plasmaetsauslaitteille suunnitellun HAR-monitorin kehityksessä.