Maskauksen saantovaihtelun pienentäminen

Abstract

Työssä tutkittiin tapoja vähentää anturinvalmistuksen osaprosessin maskausprosessin aiheuttamaa saannon vaihtelua. Työ tehtiin Murata Electronics Oy:lle. Työssä esitettiin tapoja pienentää maskausprosessin saannon vaihtelua. Tämän lisäksi työssä testattiin maskausprosessissa käytettävän maskauslaitteen kallistamisen vaikutusta saantohävikkiin. Työssä pyrittiin myös selvittämään voidaanko konenäkötarkastuslaitteelta saatavaa tietoa hyödyntää maskien puhdistusvälin määrittämisessä. Maskauslaitteen kallistusasemakoe toteutettiin kahdessa osassa, jotta tuotantomateriaalin vaihtelu ei vaikuttaisi kokeeseen. Kokeen tulokset olivat ristiriitaiset. Kokeen ensimmäisessä osassa maskausprosessin aiheuttama saantohävikki kasvoi referenssimateriaaliin nähden. Kokeen toisessa osassa saantohävikki kuitenkin väheni huomattavasti. Ristiriitaisten tulosten takia, kallistusasemaa ei tämän kokeen perusteella otettu vielä käyttöön. Päätöskallistusaseman käyttöön otosta vaatii lisäkokeiden ajamista. Konenäkölaitteelta saatavan tiedon avulla tutkittiin miten höyrystysmaskien tukkeutuminen vaikuttaa saantoon. Korrelaatio maskin tukkeutumisen ja saantohävikin välillä oli tilastollisesti merkitsevää. Yksiselitteistä rajaa höyrystysmaskien pad-dimensioille ei voitu laskea, sillä se olisi vaatinut elementtien hylkäyskustannusten laskemista. Tämän sijasta laskettiin monta eri rajaa, sekä arvioitiin niiden vaikutusta hajontaan ja saantoon. Näitä tuloksia voidaan käyttää kustannusten laskemiseen sekä hyödyn arvioimiseen.

This thesis was made for Murata Electronics Finland. The object of this thesis was to research ways to decrease masking induced yield variation. The thesis presents different ways to minimize yield loss in The evaporation masking process. In addition, this thesis studies the test of a tilt fixture, made for The masking device, and whether it has any effect on the yield variation induced by the masking. The thesis also examines whether the data from automated visual inspection can be used in determining the evaporation mask cleaning cycle. The test to study the effects of the tilt fixture was executed in two separate parts. This was a precaution to minimize the effects of variation in the input material. The test pro-duced conflicting results. In the first part of the test the masking yield loss was actually greater than in the reference material. In the second part of the test the results were opposite: Masking induced yield loss was significantly smaller. Due to the contradicting results, a decision to run more tests was made. This was needed to statistically determine whether the tilt fixture has an effect on the yield. Data gained from the automated visual inspection was used to study how the clogging of the evaporation masks affects the yield. The study showed clear correlation between clogging of the masks and yield loss. Multiple limits for pad-dimensions were studied. As a result, yield improvement and standard deviation forecasts were calculated for the different limits. These results can later be used to determine the cleaning cycle of evaporation masks.