Piikiekkojen käsittelykasettien vertailu

Abstract

Työ tehtiin Murata electronics Oy:lle. Tarkoituksena oli vertailla kahta eri piikiekkojen kulje-tuskasettia toisiinsa. Toinen kuljetuskaseteista oli valmistettu polypropeenista ja toinen polykarbonaatista. Tällä hetkellä tuotannossa käytössä oleva kasetti on valmistettu polypropeenista

Testeissä vertailtiin partikkelien irtoamista kaseteista sekä kiekkojen ja kiekoille levitetyn pinnoitteen naarmuuntumista kaseteissa. Kasettimateriaalien pinnankarheudet mitattiin näiden testien yhteydessä. Materiaalien sähköstaattisia ominaisuuksia selvitettiin Rpp-mittauksilla. Materiaaleille suoritettiin myös Taber-kulutustesti.

Polykarbonaattikasetti naarmutti testeissä kiekkoja enemmän. Tämä materiaali kului myös Taber testissä selkeästi enemmän. Sähköstaattisissa ominaisuuksissa ei havaittu merkittävää eroa kasettien välillä.

Testien tulokset olivat selvät. Polypropeenikasetti on edelleen parempi vaihtoehto kuin polykarbonaattikasetti Murata electronics Oy:n tuotantoon. Tämä kasetti pärjäsi kaikissa muissa paitsi sähköstaattisissa testeissä paremmin kuin polykarbonaattikasetti.

This thesis was commissioned by Murata Electronics Oy. The purpose of the thesis was to compare two different wafer carriers. One carrier was made of polypropen and the other of polycarbonate. Currently the production uses polypropen wafers.

The tests compared the particle shedding of carriers and the scratching of the wafers. The Carrier’s surface roughness was measured at the same time. Electrostatistic charging tests for carriers were performed by Rpp-measurement. Also the Taber abrasion test was performed for carries.

Polycarbonate carrier scratched wafers more than polypropen carrier. This material also abrased more in the Taber-abrasion test. The Electrostatistic features were almost the same.

The results of the tests were clear. The polypropen carrier is still better choice for Murata electronics productions. The polypropen carrier was better in all of the tests except the electrostatistic test