Modulaarisen testipenkin suunnittelu atomikerroskasvatuskoneen automaation testausta ja tuotekehitystä varten
Puustinen, Taneli (2023)
2023
All rights reserved. This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-202304044727
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-202304044727
Tiivistelmä
Insinöörityön tavoitteena oli perehtyä atomikerroskasvatuskoneen toiminnallisuuksiin sekä komponentteihin ja luoda alustava suunnitelma testipenkistä. Testipenkki suunniteltiin tämän atomikerroskasvatuskoneen automaation, PLC-ohjelman sekä komponenttien testausta ja tuotekehitystä varten.
Työssä perehdyttiin myös atomikerroskasvatuksen historiaan sekä teknologiaan sen taustalla. Lisäksi tutustuttiin ohutkalvopinnoitteiden käyttökohteisiin sekä atomikerroskasvatuksen käyttöön puolijohdeteollisuudessa.
Työssä selvitettiin testipenkiltä vaaditut ominaisuudet ja suunnittelu aloitettiin niiden pohjalta. Vaatimusten perusteella päädyttiin kompaktiin, helposti muokattavissa olevaan modulaariseen testipenkkiin.
Työn tuloksena syntyi suunnitelma testipenkkikokonaisuudesta sekä alustava luettelo tarvittavista komponenteista. Työn aikana valmistui modulaarisen testipenkin sydämenä toimivan sähkönjakokaapin piirikaavio ja layout-kuva sekä perusmoduulin ensimmäinen versio. Insinöörityön tulosten pohjalta voidaan aloittaa testipenkin fyysinen toteutus ja lisämoduulien tarkempi suunnittelu.
Työssä perehdyttiin myös atomikerroskasvatuksen historiaan sekä teknologiaan sen taustalla. Lisäksi tutustuttiin ohutkalvopinnoitteiden käyttökohteisiin sekä atomikerroskasvatuksen käyttöön puolijohdeteollisuudessa.
Työssä selvitettiin testipenkiltä vaaditut ominaisuudet ja suunnittelu aloitettiin niiden pohjalta. Vaatimusten perusteella päädyttiin kompaktiin, helposti muokattavissa olevaan modulaariseen testipenkkiin.
Työn tuloksena syntyi suunnitelma testipenkkikokonaisuudesta sekä alustava luettelo tarvittavista komponenteista. Työn aikana valmistui modulaarisen testipenkin sydämenä toimivan sähkönjakokaapin piirikaavio ja layout-kuva sekä perusmoduulin ensimmäinen versio. Insinöörityön tulosten pohjalta voidaan aloittaa testipenkin fyysinen toteutus ja lisämoduulien tarkempi suunnittelu.