Software Implementation for Automatic Silicon Wafer Transfer System Between Two Pressure Isolated Vacuum Chambers

Abstract

Tämä projekti tehtiin ohjelmiston toteuttamiseksi ohjausjärjestelmässä automatisoimaan osien siirtoa kahden alipainekammion välillä. Siirtojärjestelmäohjelmisto kehitettiin myös manuaaliseen ohjaukseen huolto- ja palautustarkoituksiin.

Koko klusteriprojektin johtaminen oli projektipäällikön vastuulla. Scrum-menetelmää käytettiin projektitehtävien suorittamiseen. Tehtävät ja suunnitelmat keskusteltiin viikoittaisissa palavereissa asiakkaan läsnä ollessa. Ongelmat ja tehtävät määriteltiin osatehtävinä, jotka hoidettiin sovitun ajan sisällä.

Viestintä laitteiden välillä luotiin siten, että tiedonvaihto on luotettavaa ja yhteys on vakaa. Lukitukset ja suojaolosuhteet suunniteltiin estämään järjestelmävaurioita. Lopuksi mahdollinen nopea ja turvallinen automaattinen osien siirronhallintaohjelmisto suunniteltiin ja toteutettiin ohjausjärjestelmään.

Automaattisen siirronhallintaohjelmiston toimivuus ja luotettavuus testattiin ja toteutettiin varsinaisessa asiakasjärjestelmässä. Lisäksi projektin lopputuloksella on valtava vaikutus muiden vastaavien projektien toteuttamisen nopeuttamiseen.

This project was carried out to implement a software in existing control systems to automate transferring parts between two vacuum chambers. Transfer system software was also developed to control manually for maintenance and recovery purpose.

Whole cluster project was led by project manager. Scrum method was used for project tasks outcome. Tasks and plans were discussed in weekly backlogs review with presence of the customer. Problems and tasks were defined under small tickets to be handled in a period of the scheduled time.

A stable and reliable communication between devices was established. Protective conditions and interlocks were designed to prevent system damage. Finally, a possible fast and safe automatic part transfer software were designed and implemented to the system.

The automatic transfer control software functionality and reliability was tested and implemented to the actual customer system. The outcome of the project will have a significant impact, speeding up further similar project accomplishment.