Optisen litografia laitteen reseptiparametrien automaattinen säätö mittaustulosten perusteella
Lepistö, Oskari (2023)
2023
All rights reserved. This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2023120433862
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-2023120433862
Tiivistelmä
Tässä työssä perehdyttiin mahdollisuuteen päivittää litografian valottimen reseptiparametreja automaattisesti tietokoneohjelman avulla.
Työssä tehtiin tietokoneohjelma Python-kielellä, joka lukee CD-mittalaitteen mittatiedostoja, tekee tarvittavat laskut ja editoi valottimella olevia reseptitiedostoja. Loppukäyttäjille tehtiin myös reseptikirjasto, jota kautta ohjelmaa voi ohjata ilman koodin editoimista.
Työssä havaittiin, että reseptiparametrien editoiminen automaattisesti on mahdollista. Työn tulokset osoittavat myös, että tämä on mahdollista toteuttaa Python-ohjelmalla, mutta ohjelma vaatii edelleen testausta esimerkiksi prosessin monitorointitehtävissä ennen mahdollista tuotantokäyttöä.
Työssä tehtiin tietokoneohjelma Python-kielellä, joka lukee CD-mittalaitteen mittatiedostoja, tekee tarvittavat laskut ja editoi valottimella olevia reseptitiedostoja. Loppukäyttäjille tehtiin myös reseptikirjasto, jota kautta ohjelmaa voi ohjata ilman koodin editoimista.
Työssä havaittiin, että reseptiparametrien editoiminen automaattisesti on mahdollista. Työn tulokset osoittavat myös, että tämä on mahdollista toteuttaa Python-ohjelmalla, mutta ohjelma vaatii edelleen testausta esimerkiksi prosessin monitorointitehtävissä ennen mahdollista tuotantokäyttöä.